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Amplificador de Instrumentação de Baixa Potência em Tecnologia CMOS para um Sistema Integrado de Aquisição de Sinal com Sensores MEMS.

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Esta dissertação apresenta o estudo de um amplificador de instrumentação integrado de Acomplamento Capacitivo (CCIA) para um analog front-end (AFE), otimizado para extrair sinais de um sensor tipo MEMS de elevada impedância. Este amplificador destina-se à integração num sistema AFE, implementado em tecnologia CMOS de 130 nm, do qual consiste num amplificador de instrumentação, um filtro passa-banda de condensadores comutados, e um conversor analógico digital do tipo sigma − delta. O amplificador de instrumentação é capaz de operar a tensões de alimentação inferiores a 1 V, com uma largura de banda (BW) até 10 kHz Visando a redução do ruido flícker, é utilizado uma técnica de modulação chopper, a qual acarreta uma consequente degradação da impedância de entrada. Todavia, esta é compensada por efeito de uma malha de realimentação positiva. Este amplificador de baixo ruído é constituído por um andar de entrada folded cascode, que recorre a uma técnica de distribuição de corrente para a diminuição de potência dissipada. Para além deste bloco de entrada, o circuito incluí um segundo andar common-drain e um andar de saída common-source. Para uma tensão de alimentação de 1 V, o amplificador de instrumentação apresenta uma potência total consumida de 2.6 µW, uma impedância de entrada superior a 1 GΩ, e um SNR máximo de 107 dB. O ganho em malha aberta é de 87 dB, com um GBW de 583.4 kHz. O ruído referente à entrada obtido é de 4.6 nVrms, com um valor NEF resultante de 4. O CMRR e PSRR obtidos são superiores a 97 dB e 66 dB, respectivamente, com uma área total ocupada de 0.06mm2.
This dissertation presents the design of a low-noise capacitively-coupled instrumentation amplifier for an analog front-end (AFE) optimized for the extraction of signals from a high impedance MEMS sensor. This amplifier is part of an AFE which is implemented in a standard 130 nm bulk CMOS technology. Beside the high-impedance input amplifier, the AFE includes a programmable switch-capacitor bandpass filter and a sigma-delta modulator. The instrumentation amplifier is capable to operate with a sub-1 V power supply at a 10 kHz bandwidth. A chopper modulation technique is implemented to further reduce the flicker noise, with a positive feedback network, compensating the resulting low input impedance. The low-noise amplifier consists of a differential input pair folded cascode, using a current splitting technique to decrease the power consumption, with a common-drain configuration and a common source output stage. For a power supply of 1 V, the instrumentation amplifier achieves a total power consumption of 2.6 µW, with an equivalent input impedance greater then 1 GΩ and a maximum SNR of 107 dB. The open loop gain is 87 dB with a GBW of 584 kHz. The measured input referred noise is 4.6 µVrms, with a NEF value of 4. The minimum CMRR of the amplifier is 97 dB and the PSRR minus is 66 dB. The total area occupied is 0.06mm2.

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Palavras-chave

Amplificador de Instrumentação Baixa Potência Baixo Ruído MEMS Sensores Analog Front-End

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