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Publicação
Revestimento de superfícies metálicas com TiN e AIN produzidos com plasma magnetrão
| Nome: | Descrição: | Tamanho: | Formato: | |
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Autores
Orientador(es)
Resumo(s)
Este trabalho visa a obtenção e o estudo das características dos revestimentos de AlN e TiN em
substratos metálicos, produzidos por pulverização catódica em plasma magnetrão, num
equipamento com cátodo oco, desenvolvido no LEF do CEFITEC. Este equipamento foi
adaptado para o presente trabalho, através de alguns elementos adicionais, designadamente de um
porta-amostras que permitiu o revestimento de provetes em lotes.
Deste estudo conclui-se que a aplicação de uma tensão de “bias” na amostra altera a morfologia
dos revestimentos e as características dos materiais que constituem o filme, não só no que diz
respeito à sua composição, como também proporciona estruturas mais densas e com menos
porosidade. As tensões de “bias” típicas foram de –100 V no caso de AlN e de –75 V e com uma
potência de 2,0 kW no cátodo no caso de TiN. Neste último foi considerado apenas o objectivo
da obtenção da fase d, de estrutura CFC (cor dourada), por ser a única de interesse industrial. Por
difracção de raios x verificou-se a obtenção de TiN e TiN0,9 com as características pretendidas.
Também se verificou que as tensões residuais dos filmes são de compressão e isotrópicas.
Descrição
Palavras-chave
Materiais Metais - Revestimentos Nitrato de Titânio Pulverização catódica